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碳硫儀準確分析光刻機中碳化硅陶瓷原材料碳硫含量
發(fā)布時間：2023-09-04 10:46:40 點擊：4272
碳硫儀這款專用于碳硫分析的儀器再次映入制造企業(yè)的眼簾。新能源的高速發(fā)展，光刻機的制造，碳化硅材料得到廣泛的應(yīng)用，為有效檢測碳化硅含量，提供了檢測方法。
碳化硅陶瓷原料的檢測，針對碳化硅材料的碳元素檢測，推算碳化硅的成分占比。這對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是非常重要的。
碳化硅陶瓷是光刻機用精密陶瓷部件的選用材料。碳化硅陶瓷具有高的彈性模量和比剛度，不易變形，并且具有較高的導(dǎo)熱系數(shù)和低的熱膨脹系數(shù)，熱穩(wěn)定性高，因此碳化硅陶瓷是一種優(yōu)良的結(jié)構(gòu)材料，目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于航空、航天、石油化工、機械制造、核工業(yè)、微電子工業(yè)等領(lǐng)域。
碳化硅材料的光刻機應(yīng)用-碳硫儀檢測
但是，由于碳化硅是Si-C鍵很強的共價鍵化合物，具有極高的硬度和顯著的脆性，精密加工難度大；此外，碳化硅熔點高，難以實現(xiàn)致密、近凈尺寸燒結(jié)。因此，大尺寸、復(fù)雜異形中空結(jié)構(gòu)的精密碳化硅結(jié)構(gòu)件的制備難度較高，限制了碳化硅陶瓷在諸如集成電路這類的高端裝備制造領(lǐng)域中的廣泛應(yīng)用。目前只有日本、美國等少數(shù)幾個發(fā)達國家的少數(shù)企業(yè)（如日本的Kyocera、美國的CoorsTek等）成功地將碳化硅陶瓷材料應(yīng)用于集成電路制造關(guān)鍵裝備中，如光刻機用碳化硅工件臺、導(dǎo)軌、反射鏡、陶瓷吸盤、手臂等。
除此外，碳化硅材料也在磨料、耐火材料、冶金原料中得以廣泛應(yīng)用，針對碳化硅材料的檢測，使用創(chuàng)想儀器紅外碳硫儀，可進行高效檢測，滿足廣大制造企業(yè)的檢測需求。
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